Откачник-вакуумщик. Учебник для технических училищ

Ф. Г. Закиров, Е А. Николаев

ОТКАЧНИКВАКУУМЩИК ИЗДАНИЕ 2-Е, ПЕРЕРАБОТАННОЕ И ДОПОЛНЕННОЕ

ОДОБРЕНО УЧЕНЫМ СОВЕТОМ ГОСУДАРСТВЕННОГО КОМИТЕТА СОВЕТА МИНИСТРОВ СССР ПО ПРОФЕССИОНАЛЬНО ТЕХНИЧЕСКОМУ ОБРАЗОВАНИЮ В КАЧЕСТВЕ УЧЕБНИКА ДЛЯ ТЕХНИЧЕСКИХ УЧИЛИЩ

МОСКВА «ВЫСШАЯ ШКОЛА» 1977

ПРЕДИСЛОВИЕ

Г л а в а I. УСЛОВИЯ ТРУДА И ТРЕБОВАНИЯ ЭЛЕКТРОННО-ВАКУУМНОЙ ГИГИЕНЫ НА ПРЕДПРИЯТИЯХ ЭЛЕКТРОННОЙ ПРОМЫШЛЕННОСТИ

Г л а в а II. ГАЗОВОЕ ХОЗЯЙСТВО

Г л а в а III. ТЕРМИЧЕСКАЯ ОБРАБОТКА СТЕКЛА

Г л а в а IV. ЗАКОНЫ И ПОНЯТИЯ ВАКУУМНОЙ ТЕХНИКИ

Г л а в а V. КОНТРОЛЬНО-ИЗМЕРИТЕЛЬНАЯ АППАРАТУРА В ПРОИЗВОДСТВЕ ИЗДЕЛИЙ ЭЛЕКТРОННОЙ ТЕХНИКИ § 22. ВАКУУММЕТРЫ-ИЗМЕРИТЕЛИ ДАВЛЕНИЙ

Г л а в а VI. УСТРОЙСТВО ВАКУУМНЫХ НАСОСОВ

Глава VII. УСТРОЙСТВО ВАКУУМНЫХ СИСТЕМ

Г л а в а VIII. ТЕХНОЛОГИЧЕСКИЙ ПРОЦЕСС ОТКАЧКИ ЭЛЕКТРОВАКУУМНЫХ ПРИБОРОВ § 41. ПОНЯТИЕ ОБ ОТКАЧКЕ

Г л а в а IX. ВАКУУМНОЕ ОБОРУДОВАНИЕ И ЕГО ОБСЛУЖИВАНИЕ

1

Г л а в а X. ТЕХНИКА БЕЗОПАСНОСТИ НА ПРЕДПРИЯТИЯХ ЭЛЕКТРОННОЙ ПРОМЫШЛЕННОСТИ

Г л а в а XI. ОРГАНИЗАЦИЯ ТРУДА И ТЕХНИЧЕСКАЯ ЭСТЕТИКА НА ПРОИЗВОДСТВЕ

Пауэр Б.

ЛИТЕРАТУРА

Д.

В о с т р о в Г. А.,

Розанов

Л. Н.

Л екк Дж. Вакуумная

МАртьянова М.

Б с ш а г и н С. П. Брюханов Любимов

О.

М.

Кузнецов

Л.

В.

Данилин Б.

Г о н и к б е р г

С.

И. С,

Черерепнин

В.

М и н а й ч ев

В.

Е.

Н. В.

Б а л и ц к и й А. В.

Саркисов Гейнце

А.,

Средства безмасляной откачки.

Н.

Р о у с Б. Голь М. М. Эспе

техника.

П.

Д.,

Казаков

В.

Д.

В.

Д э ш м а н С. Королев

Б.

Шумский Глазков

Г ро ш к о в с к и й

Я.

Е.,

Т.

Кацман

Я.

А., П т и ц ы н

С.

В.

И.

А.,

П л и с к о в с к и й В. Я., П е н ч к о Е. А.

Александрова А. Т., Милованова

Розанов

Л.

Физика

и техника вакуума.

Р.

Н.

Тренде л енбург Эшбах Г. Л.

Э.

Ворончев Т.

Соболев

А.,

Ч е р е п и и н Н. В. П и п к о А . И.,

Б.

К. П. А.

А.

Иориш А.

П и п к о А . И., П л и с к о в с к и й В . Я., П е н ч к о Е . А . Це й т л и н А.

Александрова

В.

Д.

Бродский

С. И., С а ж и н И. И.,

А.

Печатников М.

Н.,

В о стр о в

Орлов

Н.,

Николаев

К.

Г.

Е. А.,

А.,

У м и к о в Коновалов

Киршентейн

Н . П., Н и к о л а е в Е . А .

Ланис В.

Левина

А.,

Л.

Е.

3.

С,

В.

Г.

ОГЛАВЛЕНИЕ

Предисловие

3

Глава I.Условия труда и требования электронно-вакуумной гигиены на предприятиях электронной промышленности | § Глава II.

Газовое § § § §

Глава

1. Условия трудовой деятельности 2. Электронно-вакуумная гигиена . . . . хозяйство

3. Горючие газы, применяемые в электровакуумном производстве 4. Основные свойства горючих газов . . . 5. Газовые горелки 6. Газопроводы и газовая аппаратура . . .

III. Термическая обработка стекла

5 5 8 13 13 15 18 24 32

§ 7. Свойства технических стекол 32 § 8. Характеристика технических стекол . . . 36 § 9. Основы спаивания стекла с различными материалами 39 § 10. Конструкции спаев 45 § 11. Отжиг стекла и спаев 49 § 12. Стеклодувные работы 52 § 13. Спаи с кварцевым стеклом 53 Глава IV. Законы и понятия вакуумной техники § § § §

14. 15. 16. 17.

§ 18. § 19. § 20. § 21.

Понятия «газ» и «пар» Давление газов и паров Понятие о вакууме Поведение газа в условиях низкого и высокого вакуума Основные газовые законы Процесс откачки и его основные характеристики Режимы течения газов . Пропускная способность диафрагм и трубопроводов

55 55 56 58 61 64 68 73 75

Глава V.

Контрольно-измерительная аппаратура в водстве изделий электронной техники

произ-

§ 22. Вакуумметры — измерители давлений . . § 23. Масс-спектрометры § 24. Приборы для измерения токов и напряжений § 25. Приборы для измерения и регулирования температуры Глава

VI. Устройство вакуумных насосов § § § § § § § § § §

Глава

26. 27. 28. 29. 30. 31. 32. 33. 34. 36.

Технологический процесс куумных приборов

откачки

IX. Вакуумное оборудование

и

СТИ

электрова-

146 147 153 158 163 167 167 169 181 192 194

его обслуживание 198

§ 46. Общие требования к вакуумно-термическому оборудованию 198 § 47. Виды вакуумного оборудования и его назначение 202 § 48. Устройство основных узлов откачных постов ... 215

...........................224

Глава X. Техника безопасности на предприятиях тронной промышленности

99

146

§ 41. Понятие об откачке. . . § 42. Откачка электровакуумных приборов на откачных постах § 43. Откачка электровакуумных приборов на откачных машинах § 44. Откачка электровакуумных приборов с газопоглотителями § 45. Способы герметизации откачанных электровакуумных приборов Глава

97

Классификация вакуумных насосов . . ...101 Характеристика вакуумных насосов . . . 104 Механические вакуумные насосы 105 Эжекторные вакуумные насосы 118 Диффузионные пароструйные насосы . . 119 Понятие о безмасляной откачке 129 Турбомолекулярные насосы 130 Адсорбционные насосы 133 Электрофизические вакуумные насосы . . 131 Криогенные насосы 143

VII. Устройство вакуумных систем

VIII.

80 93

..101

§ 36. Виды вакуумных систем . . . . . . . . . . § 37. Элементы вакуумных систем . . .. . . . . § 38. Неразъемные и разъемные соединения элементов вакуумных систем § 39. Металлы и сплавы для элементов вакуумных систем § 40. Неметаллические материалы для элементов вакуумных систем Глава

§ 49 Требования к герметичности вакуумного оборудования и электровакуумных приборов 221 § 50. Методы контроля вакуумной герметично-

80

Глава

элек230

§ 51. Общие положения 230 § 52. Первая доврачебная помощь при несчастных случаях 236 § 53. Правила техники безопасности при работе с газами и оказание первой помощи пострадавшим 238 § 54. Меры пожарной безопасности 240 XI. Организация труда и техническая эстетика на производстве 244

Литература

§ 55 Организация труда 244 § 56. Санитарно-гигиенические факторы условий труда 245 § 57. Техническая эстетика на производстве . . 246 248

Закиров Ф. Г., Николаев Е. А. Откачник-вакуумщик. Учебник для технических училищ. Изд. 2-е, перераб. и доп. М., «Высш. школа», 1977. 253 с. с ил. (Профтехобразование. Вакуумная техника). В книге рассмотрены основные элементы вакуумных систем, включая средства откачки и контрольно-измерительные приборы Дано описание различных видов вакуумно-термического оборудования и приемов их обслуживания, объяснена сущность технологических процессов откачки электровакуумных приборов и термической обработки стекла Особое место в книге занимают вопросы электровакуумной гигиены, организации труда, техники безопасности, эргономики и технической эстетики на предприятиях электронной промышленности. Во втором издании книги подверглись коренной переработке вопросы, связанные с контрольно-измерительными приборами и откачным оборудованием для системы АСУТП.

Фаэт Газимович Закиров Евгений Алексеевич Николаев ОТКАЧНИК-ВАКУУМЩИК